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废气处理装置一览

我公司在半导体制造中不可或缺的废气处理技术领域拥有众多的实际成果，并以丰富多彩的技术和最先进的装置满足客户更加多样化的需求。

吸附再生式废气处理装置 　MODEL-WGE

本设备是腐蚀工艺用的湿式除害装置。
以往的湿式除害做不到的，现今它可以将Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4等目标气体去除的同时，除害能力并可达到TLV值以下。

特点

  • 吸附筒使用水可以再生，因此PIOCLEAN CARTRIDGE(药剂筒) 的寿命较长。
  • 只使用水，不会产生碱污染。
  • 用水量少，可以降低运行成本
  • 采用气液接触部分的堵塞较少的结构。
  • 吸附筒自动交替运转，可以持续除害。

装置规格

分解筒型式 最大处理流量
[ℓ/min](nor)		 装置概算尺寸
W×D×H(mm)
WGE-60 60 1350×1100×1800
WGE-120 120 1600×1400×1950
WGE-220 220 1750×1400×2000

示意图

以下为相关产品

本设备是以GaN制造工序中的废气处理为主要目的的除害装置。

因为是PIOCLEAN CARTRIDGE(药剂筒) 式产品，所以能够安全地更换能力已消耗的除害筒。