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废气处理装置一览

我公司在半导体制造中不可或缺的废气处理技术领域拥有众多的实际成果，并以丰富多彩的技术和最先进的装置满足客户更加多样化的需求。

PIOCLEAN废气处理装置　MODEL-WGC

特点

  • 简洁的流程设计和处理能力极高的PIOCLEAN CARTRIDGE(药剂筒)相结合，可以经济，安全地去除有毒气体。
  • 安装气体检测器等可选部件后，可以进一步提高安全性。
  • 如在选定双筒式样的CARTRIDGE(药剂筒)时，可做交替更换使用来减少装置停机时间。

装置规格

型式 PIOCLEAN CARTRIDGE(药剂筒) 数量 大致尺寸 W×D×H(mm)
WGC-08A-2 2根 600×400×1600
WGC-3A-2 2根 700×500×1600
WGC-4B-2 2根 800×550×1600
WGC-7A-2 2根 800×500×1600
WGC-10B-2 2根 1250×600×2000
WGC-12A-2 2根 1200×500×2000
WGC-20B-2 2根 1400×600×2000
WGC-21A-2 2根 1200×500×2000
WGC-31B-2 2根 1500×700×2000
WGC-50B-2 2根 1900×800×2000
WGC-62B-2 2根 1850×850×2000
WGC-100B-2 2根 2100×1000×2000

※也有单筒式产品。

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"PIOCLEAN"可科学吸附各种有害成分，废气中含有的多种有害物质可彻底去除。

紧急保安用PIOCLEAN CARTRIDGE即使在大风量下也具有及其优秀的处理能力。