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废气处理装置一览

我公司在半导体制造中不可或缺的废气处理技术领域拥有众多的实际成果，并以丰富多彩的技术和最先进的装置满足客户更加多样化的需求。

燃烧式废气处理装置 　MODEL-WGT

本装置由于半导体装置内排出的SiH4等氢化合物，C2F6,SF6等氟化合物气体，经由燃料燃烧器的燃烧，利用辐射热来进行热分解的处理方法。
此外，热分解后的产物（SiO2、酸性气体等）将在同一设备内的湿式洗涤塔内进行后处理。

特点

  • 通过分离燃烧喷嘴和二次燃烧室，可以在流量变动时稳定燃烧。
  • 可以处理最大处理流量为500L/min (最多可对应4个端口)的废气。
  • 墙壁Air可以防止燃烧室内的副产物附着。
  • 燃烧筒后面的水喷雾采用直接冷却的方式，节省空间。
  • 湿式洗涤塔内的循环水将不断进行搅拌，防止SiO2粉浆引起循环泵故障。
  • 配备各种传感器，安全对策万无一失。
  • 通过触摸屏，可以轻松进行操作并查看运行情况。

性能和效用

最大处理流量(ℓ/min) 500(使用4个端口时)
燃烧气体[LPG]流量
(ℓ/min)		 16
新水流量(ℓ/min) 20
仪表用气(MPa) 0.5～0.7(若干量)
装置电力 100V 3.4kVA
装置尺寸 W×D×H(mm) 900×1000×2000

※可以将城市煤气作为燃烧气体。

示意图

除害目标气体

※1 PFC型燃烧式废气处理装置可去除。

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