产品信息
气体纯化装置

半导体的制造工序中会用到各种原料气体和载气。为了形成优质的半导体，我们将根据客户所使用的气体类型，推荐出最佳的纯化装置。

常温吸附式空气纯化装置　MODEL-JAR

JAR型空气纯化装置是以步进装置、用于测定汽车尾气的零气体和燃料电池气体纯化为主要目的的纯化装置。

特点

  • 常温吸附式气体纯化装置。（反应筒在加热状态下使用）
  • 使用我公司开发的独家催化剂，可将各种杂质浓度降至1ppb以下。
  • 通过纯化以及再生的两筒自动切换，被纯化后的高纯度的空气可以稳定持续地供给。
  • 由于自己再生式吸附筒，实现了低运行成本。
  • NOx,THC以及VOC也可去除。
  • 气体纯化前、纯化后的氧气浓度不变。
  • 大型机体的制作也可能。

装置规格

型式 JAR-3E JAR-6E JAR-9E
标准流量
(m3/h(nor))		 3 6 9
尺寸 W×D×H(mm) 1200×650×1800 1400×800×1700 1800×900×1800
重量(kg) 450 640 700

※关于可支持的流量请咨询我公司。

装置性能

型式 JAR
适用气体 AIR
Inlet Outlet
最大压力(MPa) 0.8 ⊿0.1以下
温度(℃) 5～35 5～35
各种杂质
(vol.ppb)		 CO 2000 ≦1
CO2 500000 ≦1
H2 2000 ≦1
THC(CH4) 2000 ≦1
H2O 1780000 ≦1
NOx 3000 ≦1
Particle   ≧0.1µm
≦1pcs/0.0283m3

※还有可去除Sox的大流量式JAR-AX产品。欢迎咨询。

以下为相关产品

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