製品情報
ガス精製装置

半導体の製造工程において、各種の材料ガス・キャリアガスが使用されます。良質な半導体を形成するために、御使用になるガスの種類に応じた、最適な精製装置をご提案します。

常温吸着式空気精製装置　MODEL-JAR

JAR型空気精製装置は主にステッパー、自動車排ガス測定用ゼロガス、燃料電池用のガス精製を目的とした精製装置です。

特長

  • 常温吸着式ガス精製装置です。（ただし、反応筒は加熱状態で使用します。）
  • 当社が開発した独自の触媒により各不純物濃度は1ppb以下です。
  • ニ系統以上の筒の自動切換により、高純度に精製された空気を安定して連続供給します。
  • 自己再生式吸着筒で低ランニングコストを実現しました。
  • NOx,THCおよびVOCも除去が可能です。
  • ガス精製前、精製後の酸素濃度は変わりません。
  • 大型機も製作が可能です。

装置仕様

形式 JAR-3E JAR-6E JAR-9E
標準流量
(m3/h(nor))		 3 6 9
寸法 W×D×H(mm) 1,200×650×1,800 1,400×800×1,700 1,800×900×1,800
重量(kg) 450 640 700

※対応流量についてはご相談ください。

装置性能

形式 JAR
適用ガス AIR
Inlet Outlet
最大圧力(MPa) 0.8 ⊿0.1以下
温度(℃) 5～35 5～35
各不純物
(vol.ppb)		 CO 2,000 ≦1
CO2 500,000 ≦1
H2 2,000 ≦1
THC(CH4) 2,000 ≦1
H2O 1,780,000 ≦1
NOx 3,000 ≦1
Particle   ≧0.1µm
≦1pcs/0.0283m3

※SOx除去にも対応した大流量式のJAR-AXタイプもあります。ご相談ください。

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