製品情報
排ガス処理装置一覧

半導体製造に欠くことの出来ない排ガス処理技術分野での数多くの実績を有し、更に多様化するニーズに多彩な技術と最新鋭設備でお応えします。

パイオクリン®緊急保安装置 MODEL-WGR

毒性ガスボンベからの万一の噴出や半導体製造設備等(配管、継手、バルブ等)から毒性ガスが漏洩した場合に、付近の大気とともに吸引して有害成分を許容濃度以下に除害する保安装置です。

特長

  • 緊急保安用パイオクリン®は、大風量のもとでも極めて優れた処理能力を有します。
  • 毒性の高いガス等を短時間で許容濃度以下に除害します。
  • 本装置は圧力損失が極めて小さくブロワー動力を低減出来ます。
  • 装置全体はコンパクトとなっており設置面積は小さくて済みます。
  • インバータを標準装備しており、漏洩信号入力により通常排気から緊急排気に自動切替え運転が可能です。
  • 緊急保安用パイオクリン®は容易に交換が可能です。
  • 本装置には、サンプリングカートリッジが装着されていますので、緊急保安用パイオクリン®の残存能力を確認することが出来ます。

概略図

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極めて高い処理能力を誇るパイオクリンカートリッジの組合せにより、経済的かつ、安全に有毒ガスを除害することが出来ます。

燃焼ノズルと二次燃焼室を分離することにより、流量変動時に安定燃焼が可能です。