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排ガス処理装置一覧

半導体製造に欠くことの出来ない排ガス処理技術分野での数多くの実績を有し、更に多様化するニーズに多彩な技術と最新鋭設備でお応えします。

パイオクリンカートリッジ　MODEL-PCS/PCF

「パイオクリン」は各種の有害成分を化学的に吸着させ、排ガスから多種の有害物質を完全に取り除きます。
また、ドライタイプの除害剤のため、取扱いがきわめて簡単に行えるなど、数々の優れた特長とメリットを備えています。

特長

  • 水素化物系をはじめ、加水分解性の塩素系ガス/フッ素系ガスなどに対し、有害物質を化学的に吸着させ許容濃度以下に除害します。
  • カートリッジは、コンパクトかつ軽量であるため、スペース効率を大幅に高めるとともに、取付け作業もスピーディーに行えます。
  • カートリッジは、ステンレス製、FRP製をラインナップしており、使用用途により選択が可能です。
  • ドライタイプの除害剤を使用していますので、圧力損失が小さく、専用吸引ブロワー設置の必要がありません。
  • 覗窓部で検知剤が変色しますので、カートリッジの交換時期を目視で確認出来ます。
  • 出入口にバルブを標準装備し、着脱時の安全性を向上しております。

検知剤の変色例

ステンレス製カートリッジ

形式 寸法
Ø×H(mm)		 ノズル継手※3 最大流量
ℓ/min(nor)
PCS-08A-□※2 Ø60.5×540 NW20/25 8
PCS-3A-□ Ø114.3×708 NW20/25 30
PCS-7A-□ Ø165.2×778 NW20/25 60
PCS-12A-□ Ø216.3×894 NW32/40 110
PCS-21A-□ Ø267.4×894 NW32/40 160
PCS-31B-□ Ø318.5×1,128 NW32/40 230
PCS-62B-□ Ø406.4×1,313 NW50 400

※1 耐食内面コーティング仕様もラインナップしております。

FRP製カートリッジ

形式 寸法
Ø×H(mm)		 ノズル継手※3 最大流量
ℓ/min(nor)
PCF-4B-□※2 Ø135×716 NW20/25 40
PCF-10B-□ Ø210×805 NW20/25 100
PCF-20B-□ Ø260×992 NW32/40 150
PCF-50B-□ Ø410×1,246 NW32/40 400
PCF-100B-□ Ø512×1,339 NW50 600
PCF-200B-□ Ø712×1,597 NW50 1,200

※2 □内にはパイオクリンの種類が記号で記入されています。
※3 ノズル継手は、カートリッジバルブの継手サイズを示します。

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カートリッジ式なので、能力を消耗した除害筒の交換が安全にできます。

極めて高い処理能力を誇るパイオクリンカートリッジの組合せにより、経済的かつ、安全に有毒ガスを除害することが出来ます。