燃焼式排ガス処理装置 　MODEL-WGT

本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等のフッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより処理します。
また、熱分解後の生成物（SiO2粉、酸性ガス等）は同パッケージ内のウェットスクラバーにて後処理します。

特長

• 燃焼ノズルと二次燃焼室を分離することにより、流量変動時に安定燃焼が可能です。
• 最大処理流量500ℓ/min（4ポートまで対応可）の排ガスに対応可能です。
• 壁Airにより、燃焼室内の副生成物付着を防止します。
• 燃焼筒直後の水噴霧による直接冷却方式の採用により、省スペース化を実現しました。
• ウェットスクラバータンク内循環水の常時攪拌により、SiO2粉スラリーによる循環ポンプトラブルを防止します。
• 各種センサーを装備することにより、安全対策は万全です。
• タッチパネルにより、操作および運転状態の確認が容易です。

除害対象ガス

※1 PFCタイプ燃焼式排ガス処理装置での除害になります。

関連商品はこちら