製品情報
ガス関連機器一覧

半導体製造に欠くことの出来ないガス精製技術および排ガス処理技術分野での数多くの実績を有し、更に多様化するニーズに多彩な技術と最新鋭設備でお応えします。

計測における最も重要なテーマの1つが圧力・流量・水位計測。唯一無二の製品から汎用品まで幅広いラインナップでソリューションのご提案をしてまいります。

ガス精製装置

半導体の製造工程において、各種の材料ガス・キャリアガスが使用されます。
良質な半導体を形成するために、御使用になるガスの種類に応じた、最適な精製装置をご提案します。

排ガス処理装置

半導体製造に欠くことの出来ない排ガス処理技術分野での数多くの実績を有し、
更に多様化するニーズに多彩な技術と最新鋭設備でお応えします。

パイオファインカートリッジ

精製筒、高性能フィルターおよびダイヤフラムバルブの一体構造によるコンパクト化を実現、よりユースポイント近くでの精製が可能です。