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ゲッター式ガス精製装置 MODEL-UHG/URT

ゲッター式ガス精製装置 MODEL-UHG/URTのイメージ画像

特長

  1. 当社が開発した独自のゲッターによりガスの高純度精製が可能です。
  2. 常温吸着式では除去困難な窒素(N2)の除去が可能です。
  3. 反応筒(ゲッター)の積算精製ガス流量および積算精製時間を表示しますので反応筒の残有精製能力を確認できます。
  4. ゲッターライフは長寿命です。
    (URT型:20,000hr UHG型:9,000hr)
  5. 週間運転機能を持ち、設定した時刻に反応筒のヒータのON/OFFが可能です。(URT型)

装置性能

形式 UHG URT
適用ガス H2 Ar,He,Xe,etc.
Inlet Outlet Inlet Outlet
最大圧力(MPa) 0.8 ⊿0.1以下 0.8 ⊿0.1以下
温度(℃) 5〜35 5〜35 5〜35 5〜35
  O2 5,000 ≦0.1 100 ≦0.1
CO 1,000 ≦0.1 100 ≦0.1
CO2 500 ≦0.1 100 ≦0.1
各不純物
(vol.ppb)
H2 - - 100 ≦0.5
CH4 100 ≦1 100 ≦0.1
N2 5,000 ≦0.1 5,000 ≦0.1
H2O 10,000 ≦1 2,500 ≦0.1
Particle   ≧0.1µm
≦1pcs/0.0283m3
  ≧0.1µm
≦1pcs/0.0283m3

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