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常温吸着式精製装置 MODEL-VP-AN/AAR/AHE/AO/AAM/AH

常温吸着式精製装置 MODEL-VP-AN/AAR/AHE/AO/AAM/AHのイメージ画像

VPシリーズガス精製装置
精製装置のパイオニア・日本パイオニクスの世界最高のガス精製技術と長年培った多彩な技術で開発した“VPシリーズガス精製装置”は、究極の純度と、環境・安全に配慮した製品創りを追求し、「安心」と「信頼」を提供します。

特長

  1. 当社が開発した独自の触媒によりガスの高純度精製が可能です。
  2. 精製系列の切換は、原料ガスの流量および不純物濃度に適応した最適な系列切換時間を設定できます。
    また精製ガスの流量積算値による系列切換もできますので、低流量で使用した場合は系列切換時間が延びるため、省エネとなります。
  3. 省設置スペースを実現しました。(当社比18%減)※1
  4. メンテナンススペースは装置正面と背面を基本とし、装置側面は密着設置ができます。(但し、耐震金具用のスペースは必要です。)
  5. 各規格に対応(SEMI、ASME、ML等)。

※1 対象機種:VP-AN50

装置仕様

形式 VP-AN20 VP-AN50 VP-AN1000
標準流量
(m3/h(nor))
20 50 1,000
寸法
W×D×H(mm)
400×700×1,800 800×700×1,800 1,800×1,400×2,200
重量(kg) 250 400 1,600

装置性能

形式 AN,AAR,AHE AO AAM AH
適用ガス N2,Ar,He O2 NH3 H2
Inlet Outlet Inlet Outlet Inlet Outlet Inlet Outlet
最大圧力
(MPa)
0.8 ⊿0.1
(0.15)※3
以下
0.8 ⊿0.1以下 0.8 ⊿0.1以下 0.8 ⊿0.1以下
温度(℃) 5〜35 5〜35 5〜35 5〜35 22〜35 22〜35 5〜35 5〜35
  O2 1,000 ≦0.1 - - 5,000 ≦5 1,000 ≦0.1
  CO 1,000 ≦0.1 500 ≦0.5 - - 1,000 ≦1
  CO2 500 ≦0.1 2,000 ≦0.1 - - 500 ≦0.1
各不純物
(vol.ppb)
H2 1,000 ≦0.1(0.5)※4 1,000 ≦0.5 - - - -
CH4 - -※2 25,000 ≦0.1 - - - -
N2 - - - - - - - -
H2O 2,600 ≦0.1 2,600 ≦0.1 10,660 ≦53 2,600 ≦1
Particle   ≧0.1µm
≦1pcs/
0.0283m3
  ≧0.1µm
≦1pcs/
0.0283m3
  ≧0.1µm
≦1pcs/
0.0283m3
  ≧0.1µm
≦1pcs/
0.0283m3

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