HOME>製品情報>ガス関連機器>排ガス処理装置>PFC触媒加熱分解装置

PFC触媒加熱分解装置  MODEL-WGF

PFC触媒加熱分解装置  MODEL-WGFのイメージ画像

本装置は、CF4、C2F6、C5F8等のPFCを始め、SF6およびHFCの完全分解が可能です。また、ヒーター加熱方式によりプロパン等の燃焼燃料を必要とせず、CO2の排出量を最小限に抑えることができます。

特長

  1. 付帯設備を必要としないため、省スペース、低ランニングコストを実現しました。
  2. 火炎、燃料が不要ですので、高い安全性があります。
  3. 分解温度が比較的低温のためサーマルNOxの発生がありません。
  4. 触媒成分がフッ素化合物の吸収固定も行うためウェットスクラバー等の後処理装置が不要です。

装置性能

最大処理流量
[ℓ/min]
80(添加Air含む)
最大PFC濃度(%) 1.0※1
PFC分解率 99.9%以上
CF4処理量(ℓ/本) 1,500
除害対象ガス CF4、C2F6、SF6、CO、CHF3
  • ※1 CO濃度は、4.0%となります。

ユーティリティ

バージ用
N2(ℓ/min)
〜80
添加 Air(ℓ/min) 〜20
添加 H2O(ℓ/min) 若干量
冷却水(ℓ/min) 13
装置寸法
W×D×H(mm)
1,250×1,050×2,000
(前処理筒無し)
1,500×1,050×2,000
(前処理筒付)

概略図(前処理筒付)

概略図(前処理筒付)

関連商品はこちら

燃焼式排ガス処理装置イメージ画像
燃焼式排ガス処理装置

燃焼ノズルと二次燃焼室を分離することにより、流量変動時に安定燃焼が可能です。

アンモニア分解除害装置イメージ画像
アンモニア分解除害装置

本装置は主にGaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。

ガス関連機器のお問い合わせなどはこちらから

TEL:0463-53-8741(受付時間:10時〜17時)
FAX:0463-53-8746(24時間受付)
資料のご請求・お問い合わせフォームはこちらから