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燃焼式排ガス処理装置  MODEL-WGT

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本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等のフッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより処理します。
また、熱分解後の生成物(SiO2粉、酸性ガス等)は同パッケージ内のウェットスクラバーにて後処理します。

特長

  1. 燃焼ノズルと二次燃焼室を分離することにより、流量変動時に安定燃焼が可能です。
  2. 最大処理流量500ℓ/min(4ポートまで対応可)の排ガスに対応可能です。
  3. 壁Airにより、燃焼室内の副生成物付着を防止します。
  4. 燃焼筒直後の水噴霧による直接冷却方式の採用により、省スペース化を実現しました。
  5. ウェットスクラバータンク内循環水の常時攪拌により、SiO2粉スラリーによる循環ポンプトラブルを防止します。
  6. 各種センサーを装備することにより、安全対策は万全です。
  7. タッチパネルにより、操作および運転状態の確認が容易です。

性能&ユーティリティ

最大処理流量(ℓ/min) 500(4ポート使用時)
燃焼ガス[LPG]流量
(ℓ/min)
16
新水流量(ℓ/min) 20
計装ガス(MPa) 0.5〜0.7(若干量)
設備電力 100V 3.4kVA
装置寸法 W×D×H(mm) 900×1,000×2,000
  • ※燃料ガスとしても、都市ガスにも対応可能です。

除害対象ガス

  • ※1 PFCタイプ燃焼式排ガス処理装置での除害になります。

概略図

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