产品信息
气体纯化装置

半导体的制造工序中会用到各种原料气体和载气。为了形成优质的半导体,我们将根据客户所使用的气体类型,推荐出最佳的纯化装置。

常温吸附式纯化装置 Model-VPE AN/AAR/AHE/AH/AAM

VPE系列纯化装置

作为纯化装置的先驱,Air Water Mechatronics拥有全球最先进的气体纯化技术和多年累积的繁多技术,以此开发的“VPE系列气体纯化装置”追求极致的纯度和环保、以及考虑到安全的产品制造,为客户提供“放心”和“信任”。

VPE系列纯化装置

特点

  • 通过我公司开发的独家催化剂,可对气体进行高纯度的提纯。
  • 纯化系列的切换可以设置适合原料气体的流量和杂质浓度的最佳系列切换时间。此外,也可以根据纯化气体的流量累积值进行系列切换,因此在低流量下使用时,系列切换时间将延长,从而起到节能效果。
  • 减少实现了设置空间。(按本公司内的比率减少了18%)
  • 维护保养空间主要是按装置的正面和背面为基本条件,装置侧面可做到紧密设置。(但需预留耐震金属零件的设置空间)
  • 对应各规格(SEMI、ASME、ML等)

装置性能

型式 VPE- AN AAR AHE AAM AH
适用气体 N2 Ar He NH3 H2
Inlet Outlet Inlet Outlet Inlet Outlet Inlet Outlet Inlet Outlet
最大压力(Mpa) 0.8 ≦⊿0.1 0.8 ≦⊿0.15 0.8 ≦⊿0.1 0.8 ≦⊿0.1 0.8 ≦⊿0.1
温度(℃) 5~35 22~35 5~35
各种杂质
(vol,ppb)
O2 1000 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
1000 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
1000 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
2000 ≦5 1000 ≦1(标准)
≦0.1(Option)
CO 1000 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
1000 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
1000 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
- - 1000 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
CO2 500 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
500 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
500 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
- - 500 ≦5(标准)
≦1(Option)
H2 1000 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
1000 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
1000 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
- - - -
H2O 2600 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
2600 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
2600 ≦5(标准)
≦0.1(Option)
2600 ≦55(标准)
≦5(Option)
2600 ≦5(标准)
≦1(Option)
Particle ≧0.1μm
(≦1pcs/cf)※1
≧0.1μm
(≦1pcs/cf)※1
≧0.1μm
(≦1pcs/cf)※1
≧0.1μm
(≦1pcs/cf)※1
≧0.1μm
(≦1pcs/cf)※1

※1 如要确保出口颗粒值,请选择纯化气体颗粒过滤网(可选部件)。

装置规格

Model VPE- 1.5 2 2.5 3 4 6 8 10 12 18
标准流量 [Nm3/h] 5 10 20 30 50 100 200 300 500 1000
型式
(适用气体)
AN (N2)
AAR (Ar) -
AHE (He) -
AH (H2) -
AAM (NH3) - - - -
尺寸 [mm] 400 700 750 950 1200 1555
600 650 600 750 950 1220
1880 2000 2000 2000 2200 2590
重量 [kg] 150 200 250 350 400 600 750 900 1100 1600

大流量型(适用气体:N2)

Model VPE- 16AN3 20AN3 24AN3 28AN3 32AN3 36AN3 40AN3 44AN3 48AN3
最大流量 [Nm3/h] 2750 4300 6150 8400 11000 13900 17150 20800 24750
尺寸 [mm] 2400 2900 3500 4300
1800 2000 2500 3100
2800 2800 3200 3500
重量 [kg] 3500 4500 6000 7000 9000 10000 11000 15000 16000

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